

成立高端激光器装备工程技术研究中心,主要针对半导体设备用气体激光器、固体激光器、半导体激光器等进口激光器进行国内维修,其中维修周期压缩78%,14工作日内完成光路重组+性能验证(原海外维修需8-12周);成本降低65%采用自研准分子激光气体再生技术(单次维护成本<35万元);性能复原率>98%:经NIST可溯源检测设备验证,关键指标达原厂出厂标准。公司先后为中芯国际,深圳新凯来技术,合肥长鑫存储技术等多家半导体企业修复了ArF/KrF准分子(193nm/248nm)、Nd:YAG固体(355nm/532nm)、高功率光纤(1070nm)等多台激光器。